光柵的結構及作用簡介
光珊主要是用來機床相對較高的精密檢測設備,它是一種非接觸式測量。它是運用幾何光學展開工作,按樣子可以分為圓光珊與長光珊。圓光柵用以角速度的檢查,長光柵用以直線偏位的檢查。
光柵是運用光散射、衍射制作而成光學測量電子器件,它一般是由光柵尺(包括尺標光柵和標識光柵)和光柵讀數(shù)頭兩大類。
光柵讀數(shù)頭由燈源、鏡片、標示光柵、光敏元件和推動路線構成,如下圖2-23所顯示。
普適性光珊基本上系統(tǒng)工作原理是依據(jù)物理中的莫爾條紋的建立基本要素開展工作的,在這里不會再詳細描述。
光柵具備以下優(yōu)點:
(1)響應速度快、檢測范圍寬、精準測量精確度高。測平行線偏移,精度可達0.5~3μm(300mm范圍之內),屏幕分辨率可達0.1μm;測角位移,精度可達0.15″,屏幕分辨率可達0.1″,甚至更多。
(2)可以實現(xiàn)動態(tài)測量,便于完成精確測量及數(shù)據(jù)處理方法的自動化技術。
(3)具有較強的抗干擾能力。
(4)怕震動、怕油漬,高精度光柵的制作成本高。